氮?dú)馐且环N非金屬氣體，化學(xué)式為N2。它是地球大氣中含量高的氣體之一，占空氣體積的78%。氮?dú)獾慕M成非常簡(jiǎn)單，只有一個(gè)元素：氮。它是一種無色、無味、無臭的氣體，在室溫下為氣態(tài)。氮?dú)獾姆悬c(diǎn)為-196.14°C，臨界溫度為-152.96°C。它的相對(duì)分子質(zhì)量為28。
電子氣體在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用至關(guān)重要，特別是在半導(dǎo)體材料的制備過程中，用于保護(hù)材料的純凈與穩(wěn)定。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝，而高純氣體主要用作稀釋氣和運(yùn)載氣。氬氣在半導(dǎo)體晶片生長(zhǎng)和晶體陶瓷制備中是重要的材料，氦氣則可用于半導(dǎo)體材料的干燥和清洗。據(jù)參考文章，電子特氣在集成電路領(lǐng)域應(yīng)用的種類超過110余種，用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)，是半導(dǎo)體行業(yè)必需的支撐性材料。
氦氣的發(fā)現(xiàn)是源于一位法國化學(xué)家的實(shí)驗(yàn)。1860年，這位名叫亨利·德維爾的年輕科學(xué)家正在研究一種叫做氫油的東西（其實(shí)就是煤油的成分）。然而當(dāng)他將燃燒棒浸入這種液體時(shí)卻發(fā)生了出人意料的情況：火焰竟然從液滴中飄起！這使他在困惑之余想到這是某種新的氣體的作用結(jié)果，于是他便開始對(duì)這種未知?dú)怏w進(jìn)行研究并終確定了它的元素性質(zhì)——這是一種在當(dāng)時(shí)以前聞所未聞到的新物質(zhì)--氦
這個(gè)發(fā)現(xiàn)在當(dāng)時(shí)的科學(xué)界引起了極大的震動(dòng)和廣泛的運(yùn)用.因?yàn)槠涮厥獾奈锢硖匦?常溫下能攜帶大量的熱而均勻散發(fā)的特點(diǎn)使其成為了理想的氣體液化劑從而廣泛應(yīng)用在了大功率內(nèi)燃機(jī)、飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)以至各種氣球的設(shè)計(jì)制造領(lǐng)域；此外由于它密度很小還可以充填高壓空氣船等，并且在宇宙航行和新光源的研究工作中也有重要的作用。
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